ArとCF4プラズマで処理したAlGaN膜の表面分析
ArとCF4プラズマで処理したAlGaN膜の表面分析
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Ar 和 CF4 等离子体处理的 AlGaN 薄膜的表面分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平井翔大，新部正人，川上烈生，白濱達夫，中野由崇，向井孝志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡邉恵理子;池田佳奈美;武田光夫;平井翔大，新部正人，川上烈生，白濱達夫，中野由崇，向井孝志
