A Shadow-Mask to make half Million Submicron Square Patterns at Once

A Shadow-Mask to make half Million Submicron Square Patterns at Once
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一次制作五十万个亚微米方形图案的荫罩

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
9th International Conference on Miniaturized Chemical and Biochemical Analysis Systems (MICROTAS'2005)
影响因子:
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通讯作者:
H.Fujita
H.Fujita
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.C.Tarhan;A.Tixier-Mita;H.Fujita

文献摘要

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