Phase Structure Control of Yttrium Iron Garnet Nanoparticle Films Using Inductively-Coupled High-Pressure RF Plasmas

Phase Structure Control of Yttrium Iron Garnet Nanoparticle Films Using Inductively-Coupled High-Pressure RF Plasmas
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使用电感耦合高压射频等离子体控制钇铁石榴石纳米粒子薄膜的相结构

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Proc. 24th Symp. on Plasma Processing, Osaka, Japan, 2007.1.29-31
影响因子:
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通讯作者:
Y.Setsuhara
Y.Setsuhara
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T.Mano;O.Sugiyama;Y.Shibuya;H.Nakayama;O.Takai;Y.Setsuhara

文献摘要

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