三次元微細形状測定のための静電気力顕微鏡に関する研究
三次元微細形状測定のための静電気力顕微鏡に関する研究
复制标题
静电力显微镜三维精细形状测量研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
細渕啓一郎,賈志剛,伊東聡,清水裕樹,何高法,高偉
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Emmanuel Agullo;Bérenger Bramas;Olivier Coulaud;Eric Darve;Matthias Messner;Toru Takahashi;Wei Gao;南野宏紀，藤垣元治;Toru Takahashi;細渕啓一郎,賈志剛,伊東聡,清水裕樹,何高法,高偉
