Relationship between TiN films with different orientations and their barrier properties
Relationship between TiN films with different orientations and their barrier properties
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不同取向TiN薄膜与其阻隔性能的关系
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masaru Sato and Mayumi B. Takeyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮坂日和;井口傑;三島裕樹;井口 傑，三島 裕樹;三島 裕樹，井口 傑;井口傑，三島裕樹;三島裕樹，井口傑;Masaru Sato and Mayumi B. Takeyama
