シリコン薄膜の金属誘起固相結晶化における新現象
シリコン薄膜の金属誘起固相結晶化における新現象
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金属诱导硅薄膜固相结晶新现象
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浅野種正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Kawazu;T.Watanabe;K.Totani;T.Ogawa;浅野種正
