非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜
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DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
HEI Li-fu,XU Jun-bo,CHEN Liang-xian,LI Cheng-ming,LU Fan-xiu(
中科院分区：
文献类型：
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作者：
黑立富;徐俊波;陈良贤;李成明;吕反修;HEI Li-fu,XU Jun-bo,CHEN Liang-xian,LI Cheng-ming,LU Fan-xiu(
