MOD法により製作したVOxマイクロボロメータ素子の検出特性
MOD法により製作したVOxマイクロボロメータ素子の検出特性
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MOD法制造的VOx微测辐射热计元件的检测特性
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
立木 隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
内田 貴司;立木 隆
