大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットの発光分光計測と表面改質プロセスの相関

大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットの発光分光計測と表面改質プロセスの相関
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大气压非平衡微波等离子体射流的发射光谱测量与表面改性过程之间的相关性

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
プラズマ応用科学 14
影响因子:
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通讯作者:
赤塚洋
赤塚洋
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
湯地敏史;藤岡万也;藤井修逸;福山紅陽;赤塚洋

文献摘要

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