Sensitivity change induced by static deflection of diaphragm in piezoelectric ultrasonic microsensor

Sensitivity change induced by static deflection of diaphragm in piezoelectric ultrasonic microsensor
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压电超声微传感器膜片静态偏转引起的灵敏度变化

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Technical Digest of the 21^<st> Sensor symposium
影响因子：
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通讯作者：
H.Nishimoto
H.Nishimoto
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H.Shimizu;Y.Nakano;Y.Takahashi;Y.Takahashi;澤口 直樹;M.Yokoyama;Y.Takahashi;T.Matsuda;D.Miura;安部 悟志;三浦 弘;梅川淳;Kaoru Yamashita;K.Yamashita;K.Yamashita;Kaoru Yamashita;Nobuki Shimizu;清水 伸樹;Kaoru Yamshita;Kaoru Yamshita;Kaoru Yamshita;Kaoru Yamshita;K.Yamashita;山下 馨;H.Nishimoto

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