南部健一, 江戸隆諭, 高橋正嘉: "誘導結合プラズマによるエッチングの基板バイアス効果"東北大学 流体科学研究所報告. 第15巻(印刷中). (2004)
南部健一, 江戸隆諭, 高橋正嘉: "誘導結合プラズマによるエッチングの基板バイアス効果"東北大学 流体科学研究所報告. 第15巻(印刷中). (2004)
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Kenichi Nambu、Takayoshi Edo、Masayoshi Takahashi：“感应耦合等离子体蚀刻的基板偏置效应”东北大学流体科学研究所报告第 15 卷（出版中）。
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