DLC成膜用カーボンHiPIMSのプラズマ診断(2)～パルス幅の効果
DLC成膜用カーボンHiPIMSのプラズマ診断(2)～パルス幅の効果
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碳 HiPIMS 的等离子体诊断对 DLC 成膜的影响 (2) ~ 脉冲宽度的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小田 昭紀，上坂 裕之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
太田 貴之，松島 丈;小田 昭紀，上坂 裕之
