Formation of Polycrystalline Silicon Films with Various Microstructures by Flash Lamp Annealing of Micrometer-Order-Thick Amorphous Silicon Films
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微米级非晶硅薄膜闪光灯退火形成各种微结构的多晶硅薄膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keisuke Ohdaira
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Linsheng Liu;Kota Sasaki;Noritaka Yusa;Hidetoshi Hashizume;Keisuke Ohdaira
