Al極性AlN膜基板上への低酸素分圧下におけるAlN膜液相成長
Al極性AlN膜基板上への低酸素分圧下におけるAlN膜液相成長
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低氧分压下Al极性AlN薄膜基板上液相生长AlN薄膜
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関谷竜太,安達正芳,大塚誠,福山博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masayoshi Adachi;Mari Takasugi;Daisuke Morikawa;Kenji Tsuda;Akikazu Tanaka;Hiroyuki Fukuyama;安達正芳,福山博之,杉山正史,飯田潤二;福山博之,安達正芳;関谷竜太,安達正芳,大塚誠,福山博之
