Oxygen at the interface of CVD diamond films on silicon
Oxygen at the interface of CVD diamond films on silicon
复制标题
硅上 CVD 金刚石薄膜界面处的氧
DOI:
10.1016/s0925-9635(99)00104-1
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发表时间:
1999
影响因子:
4.1
通讯作者:
B. Stritzker
中科院分区:
文献类型:
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作者:
A. Bergmaier;M. Schreck;G. Dollinger;O. Schmelmer;K. Thürer;B. Stritzker