ミストCVD 法を用いたGa2O3及びIn2O3成長

ミストCVD 法を用いたGa2O3及びIn2O3成長
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使用雾气 CVD 方法生长 Ga2O3 和 In2O3

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期刊:
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通讯作者:
尾沼猛儀他2名
尾沼猛儀他2名
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
田沼圭亮;山口智広;尾沼猛儀他2名

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