反応性2元同時スパッタ法で作製したCrAlN/BNコーティング膜の構造と機械的性質
反応性2元同時スパッタ法で作製したCrAlN/BNコーティング膜の構造と機械的性質
复制标题
反应双组分溅射法制备CrAlN/BN镀膜的结构与力学性能
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
他3名
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
野瀬正照、松田健二、池野進;他3名
