Radical Beam Deposition of Silicon Nitride towards Passivation for Organic Devices
Radical Beam Deposition of Silicon Nitride towards Passivation for Organic Devices
复制标题
氮化硅的自由基束沉积对有机器件的钝化
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
M.Yoshimoto
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K.Taguchi;M.Yamashita;M.Yamazaki;A.Chayahara;Y.Horino;T.Iwade;M.Yoshimoto