PECVD制备掺氮类金刚石薄膜的电化学特性

PECVD制备掺氮类金刚石薄膜的电化学特性
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DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
材料研究学报
影响因子:
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通讯作者:
邹友生
邹友生
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
周凯;柯培玲;汪爱英;邹友生

文献摘要

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