A.Takase: "Field-Shield Trench Isolation with Self-Aligned Field Oxide"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 2100-2105 (2003)
A.Takase: "Field-Shield Trench Isolation with Self-Aligned Field Oxide"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 2100-2105 (2003)
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A.Takase：“采用自对准场氧化物的场屏蔽沟槽隔离”Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 2100-2105 (2003)
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