熱酸化・スパッタ成膜SiO2上に形成した金属ナノドットアレイの特性

熱酸化・スパッタ成膜SiO2上に形成した金属ナノドットアレイの特性
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热氧化/溅射沉积 SiO2 上形成的金属纳米点阵列的特性

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高橋 庸夫
高橋 庸夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
瘧師 貴幸,天野 郁馬,福地 厚;有田 正志;高橋 庸夫

文献摘要

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