関口貴子: "Formation of Slit-Like Voids at Trench Corners of Damascene Cu Interconnects"Materials Transactions. 43. 1633-1637 (2001)

関口貴子: "Formation of Slit-Like Voids at Trench Corners of Damascene Cu Interconnects"Materials Transactions. 43. 1633-1637 (2001)
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Takako Sekiguchi:“在大马士革铜互连线的沟槽角处形成狭缝状空隙”材料交易 43. 1633-1637 (2001)。

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