静電駆動型MEMSデバイスによる犠牲酸化SiナノワイヤのSEM内引張試験
静電駆動型MEMSデバイスによる犠牲酸化SiナノワイヤのSEM内引張試験
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使用静电驱动 MEMS 器件对牺牲氧化硅纳米线进行扫描电镜 (SEM) 拉伸测试
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤井 達也，伊奈 銀之介，井上 尚三，生津 資大
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tatsuya Fujii;Koichi Sudoh;Shozo Inoue;and Takahiro Namazu;Hironao Miyatake;藤井 達也，伊奈 銀之介，井上 尚三，生津 資大
