（0001）GaNウエハ上のsクラッチ幅と転位パタンサイズの線形増加
（0001）GaNウエハ上のsクラッチ幅と転位パタンサイズの線形増加
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(0001) GaN 晶圆上离合宽度和位错图案尺寸线性增加
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
只友一行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石川由加里;菅原 義弘;姚 永昭;武田秀俊;會田英雄;只友一行
