田頭博昭,北守一隆,伊達亜由美,酒井洋輔: "Modeling of RF Plasma Considering Radical Reaction" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 333-336 (1990)

Hiroaki Tagashira、Kazutaka Kitamori、Ayumi Date、Yosuke Sakai：“考虑自由基反应的射频等离子体建模”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 333-336 (1990)。