衬底温度对磁控溅射法制备掺Ta氧化锌薄膜性能的影响
衬底温度对磁控溅射法制备掺Ta氧化锌薄膜性能的影响
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DOI：
10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2017.09.011
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
曹菲菲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杨天琦;李翠平;曹菲菲
