A nanofluidics study on nanoscale gas bubble defects in dispensing-based nanoimprint lithography
A nanofluidics study on nanoscale gas bubble defects in dispensing-based nanoimprint lithography
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基于分配的纳米压印光刻中纳米级气泡缺陷的纳米流体学研究
DOI：
10.1109/nano.2017.8117426
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Liang, Xiaogan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Li, Da;Ma, Xiaobai;Li, Nan;Hossein, Rokbi;Lu, Wei;Yu, Zhaoning;Liang, Xiaogan
