英 崇夫: "スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板温度依存性" 材料. 42. 627-633 (1993)
英 崇夫: "スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板温度依存性" 材料. 42. 627-633 (1993)
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Takao Ei：“溅射产生的 AlN 薄膜中残余应力的衬底和衬底温度依赖性”Materials 42. 627-633 (1993)。
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