CMOSプロセスを用いたMEMS圧力センサとCV変換回路の試作と評価
CMOSプロセスを用いたMEMS圧力センサとCV変換回路の試作と評価
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采用 CMOS 工艺的 MEMS 压力传感器和 CV 转换电路的原型制作和评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小松 聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
前澤 龍平;小松 聡
