永田貴之,高谷裕浩,三好隆志: "光逆散乱位相法による微細形状の測定法に関する研究-計算機シミョレーションによる誤差評価-" 1993年度精密工学会秋季大会学術講演論文集. 京都. 211-212 (1993)
永田貴之,高谷裕浩,三好隆志: "光逆散乱位相法による微細形状の測定法に関する研究-計算機シミョレーションによる誤差評価-" 1993年度精密工学会秋季大会学術講演論文集. 京都. 211-212 (1993)
复制标题
Takayuki Nagata、Hirohiro Takatani、Takashi Miyoshi：“使用光学逆散射相位法的精细形状测量方法的研究 - 通过计算机模拟进行误差评估 -”1993 年日本精密工程学会秋季会议记录，京都 211-212。 (1993)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
