Fabrication of InP Microhole Arrays by Site-selective Anodic Etching and Subsequent Chemical Etching
Fabrication of InP Microhole Arrays by Site-selective Anodic Etching and Subsequent Chemical Etching
复制标题
通过选点阳极蚀刻和后续化学蚀刻制造 InP 微孔阵列
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Asoh and S. Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田将大;入谷英司;H. Asoh and S. Ono
