Masanori Murakami: "Deformation in thin films by thermal strain" J.Vac.Sci.Technol.A9(4). 2469-2476 (1991)
Masanori Murakami: "Deformation in thin films by thermal strain" J.Vac.Sci.Technol.A9(4). 2469-2476 (1991)
复制标题
Masanori Murakami：“热应变引起的薄膜变形”J.Vac.Sci.Technol.A9(4)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
