XPS spectral changes of DLC thin films obtained by argon ion etching
XPS spectral changes of DLC thin films obtained by argon ion etching
复制标题
氩离子刻蚀得到的DLC薄膜的XPS光谱变化
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hirofumi Takikawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kenji Yamada;Yushi Iijima;Toru Harigai;Hirofumi Takikawa
