Surface modification of silicon with sinerle ion irradiation

Surface modification of silicon with sinerle ion irradiation
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单离子辐照硅表面改性

DOI：
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发表时间：
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期刊：
Appl. Surf. Sci. (submitted)
影响因子：
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通讯作者：
T.Kamioka
T.Kamioka
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
I.Ohdomari;T.Kamioka

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