Structural Properties of Island Films of Indium on Si(111) and the Sputter-Etching Profile

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Si(111)基铟岛膜的结构特性及溅射刻蚀曲线

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
成蹊大学理工学研究報告
影响因子:
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通讯作者:
T. Nakano
T. Nakano
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S. Baba;M. Iozaki;S. Sato;T. Nakano

文献摘要

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