Development of an in-process confocal positioning system for nano-stereolithography using evaenscent light

Development of an in-process confocal positioning system for nano-stereolithography using evaenscent light
复制标题

使用倏逝光开发纳米立体光刻过程中共焦定位系统

DOI:
--
复制
发表时间:
2008
期刊:
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 9, 3
影响因子:
--
通讯作者:
K.Takamasu
K.Takamasu
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y.Kajihara;T.Takeuchi;S.Takahashi;K.Takamasu

文献摘要

相似文献