模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制
模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制
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DOI：
10.3788/aos202141.2031003
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杨飞
中科院分区：
文献类型：
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作者：
付秀华;王海峰;张静;张功;任仲举;周笑平;杨飞
为满足红外探测系统无热化、高质量成像的需求,在非球面硫系玻璃基底制备3.7~4.8μm波段增透膜。根据试验要求选取黏结层材料,提高基板与薄膜之间的附着力;利用有限元分析法通过多物理场仿真软件,将温度场与热应力场相结合建立三维模型,分析非球面薄膜的应力分布情况。根据模拟结果对沉积工艺进行优化,采用温度梯度烘烤法降低硫系玻璃基底的热应力,并采用真空原位退火法释放沉积薄膜的应力,解决非球面镜的脱膜问题。所制备的薄膜可以通过MIL-C-48497A标准中的附着力、湿度、中度摩擦等测试,并在3.7~4.8μm波段的平均透过率为99.12%,满足红外探测系统的指标要求。