コンフォーマルな製膜手法向けMEMS応力センサ
コンフォーマルな製膜手法向けMEMS応力センサ
复制标题
用于保形薄膜沉积方法的 MEMS 应力传感器
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
三田吉郎
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
宇佐美尚人;太田悦子;百瀬健;肥後昭男;三田吉郎
