"Electrostatic Actuation" contributed to "Comprehensive Microsystems" vol.2, pp.1-38, Editor: Y.B. Gianchandani, O. Tabata, H. Zappe (寄稿)
"Electrostatic Actuation" contributed to "Comprehensive Microsystems" vol.2, pp.1-38, Editor: Y.B. Gianchandani, O. Tabata, H. Zappe (寄稿)
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《静电驱动》撰稿于《综合微系统》第 2 卷，第 1-38 页，编辑：Y.B. Gianchandani、O. Tabata、H. Zappe（供稿）
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Toshiyoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Takahashi;M. Mita;K. Motohara;N. Kobayashi;N. Kashikawa;H. Fujita;H. Toshiyoshi;H. Toshiyoshi
