Low-stress gold electroplating for x-ray masks
Low-stress gold electroplating for x-ray masks
复制标题
X射线掩模低应力镀金
DOI：
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发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Henry I. Smith
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Chu;M. Schattenburg;Henry I. Smith
