透過型位相変調型微分干渉顕微鏡におけるセクショニングマスク法の計測範囲の検討
透過型位相変調型微分干渉顕微鏡におけるセクショニングマスク法の計測範囲の検討
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透射相位调制微分干涉显微镜切片掩模法测量范围的检验
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
笠木隆裕,石渡裕,伊藤雅英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Nishida;M.Osada;J.Sakai;N.Ito;M.Nishide;T.Osumi;T.Tai;T.Katoda;R.Ikariyama;H.Funakubo;H.Moriwake;T.Yamamoto;笠木隆裕,石渡裕,伊藤雅英
