沉积温度对磁控溅射制备V_Al_Si_N硬质涂层结构及性能的影响
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岳建岭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李淼磊;朱萍;黄峰;岳建岭
