Multi-modal Vibration Stage for Alignment of Micro-objects

Multi-modal Vibration Stage for Alignment of Micro-objects
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用于微型物体对准的多模态振动台

DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
影响因子：
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通讯作者：
A.KAKUTA
A.KAKUTA
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.OKUI;T.TATENO;A.KAKUTA

文献摘要

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