TiO_2膜作製用スパッタ型酸素ラジカル源
TiO_2膜作製用スパッタ型酸素ラジカル源
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用于TiO_2薄膜制备的溅射型氧自由基源
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
星陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石原太樹;佐藤紀幸;望月翔平;飛坂真幸、橋本一;Hao Lei;星陽一
