スパッタリング法によるシリカガラス薄膜の濡れ性制御

スパッタリング法によるシリカガラス薄膜の濡れ性制御
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溅射法控制石英玻璃薄膜的润湿性

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
春日敏宏
春日敏宏
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
前田浩孝;千野光晶;春日敏宏

文献摘要

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