HfO2栅介质薄膜的结构和介电性质研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尹民
中科院分区：
文献类型：
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作者：
程学瑞;戚泽明;张国斌;李亭亭;贺博;尹民
