Y.Kimura,M.Kishi and T.Katoda: "Effects of Elastic Stress Introduced by a Si_3N_4 Cap on Solid-phase crystallization of Amorphous Silicon"J.Appl.Phys.. 86・4. 2278-2280 (1999)
Y.Kimura,M.Kishi and T.Katoda: "Effects of Elastic Stress Introduced by a Si_3N_4 Cap on Solid-phase crystallization of Amorphous Silicon"J.Appl.Phys.. 86・4. 2278-2280 (1999)
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Y.Kimura、M.Kishi 和 T.Katoda:“Si_3N_4 帽引入的弹性应力对非晶硅固相结晶的影响”J.Appl.Phys.. 86・4 (1999)。
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