M.Shimozuma: "Deposition of Silicon Oxide Film on Polymer Without Heating Using 50Hz Plasma CVD" Proceedings of 11th International Symposium on Plasma Chemistry. 11. 829-833 (1993)
M.Shimozuma: "Deposition of Silicon Oxide Film on Polymer Without Heating Using 50Hz Plasma CVD" Proceedings of 11th International Symposium on Plasma Chemistry. 11. 829-833 (1993)
复制标题
M.Shimozuma:“使用 50Hz 等离子体 CVD 在不加热的情况下在聚合物上沉积氧化硅薄膜”第 11 届国际等离子体化学研讨会论文集。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: