M.Shimozuma: "Deposition of Silicon Oxide Film on Polymer Without Heating Using 50Hz Plasma CVD" Proceedings of 11th International Symposium on Plasma Chemistry. 11. 829-833 (1993)

M.Shimozuma: "Deposition of Silicon Oxide Film on Polymer Without Heating Using 50Hz Plasma CVD" Proceedings of 11th International Symposium on Plasma Chemistry. 11. 829-833 (1993)
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M.Shimozuma:“使用 50Hz 等离子体 CVD 在不加热的情况下在聚合物上沉积氧化硅薄膜”第 11 届国际等离子体化学研讨会论文集。

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