Y.Kim;M.Katsurai;H.Fujita: Proceedings of IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems,Salt Lake City. 107-112 (1989)
Y.Kim;M.Katsurai;H.Fujita: Proceedings of IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems,Salt Lake City. 107-112 (1989)
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Y.Kim；M.Katsurai；H.Fujita：IEEE 国际微机电系统研讨会论文集，盐湖城。
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