再現性１nmの大型光学素子計測システム
再現性１nmの大型光学素子計測システム
复制标题
具有 1nm 再现性的大型光学元件测量系统
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Paul Morantz and Paul Shore
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武井良憲;Renaud Jourdain;Paul Morantz and Paul Shore
